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日本YUTAKA絕壓型壓力控制器設備L88系列 L88SS L88系列是針對半導體制造氣體B2H6而設計的二級減壓結構的產品。作為抑制B2H6減壓生成產物的措施，中間壓力為3MPa，調節(jié)閥結構為平密封型，采用PCTF調節(jié)閥座，抑制了缺陷。它也非常適合絕熱膨脹變化較大的 NF3。

日本YUTAKA壓力控制器焊接金屬墊片L81系列 L81SS/L81SH/L81SS-N20 L81系列是一款專為半導體工藝制造氣體設計的產品，具有兩級減壓結構。基本結構為外部金屬密封和焊接接頭規(guī)范，使其成為具有優(yōu)異的外泄漏和顆粒性能的產品。兩級減壓結構不易受氣源壓力波動的影響，提供穩(wěn)定的壓力和流量，非常適合液化氣絕熱膨脹導致溫降較大的氣體。

日本YUTAKA高壓大流量氣壓計控制器L62系列 L62SS/L62SH/L62SS-CO/L62SS-I L62系列是專為高壓、大流量半導體工藝生產氣體設計的產品，其基本結構為外部金屬密封和焊接接頭，具有優(yōu)異的外泄漏和顆粒性能。該產品增加了流量，是氣瓶柜的理想選擇。 我們的L61系列的針結構類型（面對面尺寸相同）。 可根據(jù)使用氣體選擇閥座材料。

日本YUTAKA壓力控制設備高壓大流量L61系列 L61SS/L61SS-CO L61系列是針對高壓、大流量半導體工藝生產氣體而設計的產品。調節(jié)閥的平密封結構保證了小行程下的大流量。

日本YUTAKA高壓流量計壓力控制器L21系列 L21SS/L21SH/L21SS-CO L21系列是專為使用高壓半導體工藝制造氣體而設計的產品?；窘Y構為外部金屬密封和焊接接頭，基本性能較L20系列有所提高。該產品具有優(yōu)異的外漏和顆粒性能，是氣缸柜的理想選擇。

日本YUTAKA半導體用壓力控制設備L20系列 L20SS/L20SH/L20SS-CO L20系列是專為高壓半導體工藝制造氣體而設計的產品。基本結構是外部金屬密封和焊接接頭，使其成為具有優(yōu)異的外部泄漏和顆粒性能的產品。此外，我們還提供多種選擇來容納各種高純度氣體，使其成為氣瓶柜的理想選擇。

日本YUTAKA高純度氣體壓力控制設備L18H系列 L18HSH/L18HSV/L18HVH L18H系列是一款1.5英寸SEMI標準塊壓力調節(jié)器，專為設備制造商的集成供氣系統(tǒng)而設計。另外，作為L18產品的后繼產品，流量特性也得到了極大的改善。 主體焊接接頭規(guī)格也非常適合節(jié)省閥箱空間。

日本YUTAKA壓力控制設備焊接金屬頭L12系列 L12/L12H/L12V L12系列是一款按照SEMI標準設計的1.125英寸壓力調節(jié)器。 與集成供氣系統(tǒng)的 1.125 英寸和 1.5 英寸 W 密封件和 C 密封件兼容。 還提供高流量和真空規(guī)格以及面密封接頭類型。