日本YUTAKA低壓大流量型壓力控制器L36系列 L36SS/L36SH 特點(diǎn)介紹

L36系列是用于半導(dǎo)體工藝制造氣體的低壓型產(chǎn)品，設(shè)計(jì)緊湊但能夠提供最大流量。它具有出色的外部泄漏和顆粒性能，使其成為閥箱和連接裝置的理想選擇。

功能低壓1MPa以下

焊接規(guī)格金屬墊片管件調(diào)節(jié)閥結(jié)構(gòu)針型兼容氣體7種特殊高壓氣體

腐蝕性氣體有毒氣體

以外的氣體標(biāo)準(zhǔn)流量100～500NL/分鐘

日本YUTAKA低壓大流量型壓力控制器L36系列 L36SS/L36SH 規(guī)格參數(shù)

入口壓力 2MPa以下 

調(diào)節(jié)壓力 Max.0.99MPa（范圍規(guī)格：0-0.2MPa、0-0.4MPa、0-0.6MPa、0-0.99MPa） 

氣源壓力波動(dòng) 入口壓力：每0.1MPa，調(diào)節(jié)壓力變化量0.0075MPa 

承受壓力 6MPa（入口側(cè)） 

CV值 1.1 

工作溫度 -10~+40℃ 

外漏 1×10-11Pa·m3/sec·He（真空法） 

大量的 約2公斤 

3/8"、1/2" 面密封接頭尺寸

（公母相同）…………………………約 132mm

[備注]

■ 壓力表連接接頭的標(biāo)準(zhǔn)尺寸和形狀為1/4″ 外螺紋面密封接頭。

 ■ 進(jìn)出口接頭的類型、尺寸和形狀（外螺紋、內(nèi)螺紋）組合如圖所示。您可以從下面所示的產(chǎn)品編號(hào)代碼表中進(jìn)行選擇。