日本e-yamato超高純調壓閥壓力調節(jié)器分析儀 SRQ-1HL/SRQ-1HM/SRQ-1LL 特點介紹

高純度氣體（純度99.999~99.99999%）和腐蝕性氣體的供應。

由于是雙級減壓結構，因此二次側壓力的變動極小，可穩(wěn)定地供給氣體。

可作為經濟產業(yè)大臣認證品生產。在高壓氣體設備中使用時，請選擇合格品。

流動方向也可制作左側入口（左高壓）型。

日本e-yamato超高純調壓閥壓力調節(jié)器分析儀 SRQ-1HL/SRQ-1HM/SRQ-1LL 規(guī)格參數(shù)

SRQ-1HM

SRQ-1HL

SRQ-1LL

一次側壓力（MPa）

1~20

1~20

1~3

二次倒使用壓力（MPa）

0.5~2

0.1~0.99

使用溫度(C)

-10~40（設計溫度:-10~7攝氏度）1/4

外部響應量（Pam/sec）

螺紋接合:1.01x10以下焊接連接:1.01x11以下

接氣主本體

SUS316L

要部材質

材質記號

隔膜

SUS316L（八固醇規(guī)格:HC-22）

諾科脫明弁材

PCTFE

PCTFE

PTFE

是P476其他

SUS316L（海斯特洛型號:HC-22）

過濾器粗糙度

40μm量（kB）

1.3

1.3

1.3

標準流量/min（nor.N情況）

320(P=15MPa.Pz=2MPa)

160(P=15MPa,Pz=0.99MPa)

80(P:=3MPa,P==0.99MPa)

最大流量2/min（nor.N）

400(Pl=15MPa.Pz=2MPa)

200(P=15MPa.Pz=0.99MPa)

100(P=3MPa.Pz=0.99MPa)