日本okksg半導(dǎo)體電子元件全自動UV紫外黑光 FBUV-系列 特點(diǎn)介紹

黑光規(guī)格的全自動UV照射機(jī)是自動取出卡匣供給的晶圓框，照射

UV光并進(jìn)行保管的裝置。切割后，紫外線照射會降低膠帶的粘合強(qiáng)度，使其更容易拾取。

兼容 8 英寸和 12 英寸晶圓框架，可自動更換設(shè)置。

盒式裝置可實(shí)現(xiàn)全自動照射。

旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)盤可實(shí)現(xiàn)均勻一致的紫外線照射。

多種UV照射條件（時間設(shè)定或累積光強(qiáng)度設(shè)定）

在觸摸屏上實(shí)時顯示紫外線照度。

由于黑光規(guī)格，功耗較低。

兼容8英寸/12英寸磁帶。（可以通過觸摸面板自動完成設(shè)置更改）

日本okksg半導(dǎo)體電子元件全自動UV紫外黑光 FBUV-系列 規(guī)格參數(shù)

盒式裝置可實(shí)現(xiàn)全自動照射。

旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)盤可實(shí)現(xiàn)均勻一致的紫外線照射。

多種UV照射條件（時間設(shè)定或累積光強(qiáng)度設(shè)定）

在觸摸屏上實(shí)時顯示紫外線照度。

由于黑光規(guī)格，功耗較低。

兼容8英寸/12英寸磁帶。（可以通過觸摸面板自動完成設(shè)置更改）

尺寸寬770×深1090×高1200（毫米） 

重量約250公斤 

駕駛空氣0.4～0.5Mpa 65L/min 

紫外線照度9mW/cm2以上 

氮?dú)?.4～0.5Mpa 100L/min 

電源AC100V 50/60Hz 30A