日本THKprecision高速響應(yīng)X軸耐用電源器件 PSM1H系列 特點(diǎn)介紹

分為共振頻率高、強(qiáng)調(diào)高速響應(yīng)的“直接驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)"和確保行程的“位移倍率機(jī)構(gòu)"。

這是壓電元件直接使移動(dòng)工作臺(tái)移動(dòng)的機(jī)構(gòu)。

通過抑制行程，分辨率和響應(yīng)能力都非常出色。

高剛性即使在重負(fù)載下也能穩(wěn)定定位。

配備機(jī)械放大壓電元件膨脹的機(jī)構(gòu)。

根據(jù)放大倍數(shù)的不同，可以獲得直接驅(qū)動(dòng)數(shù)倍至10倍以上的行程。

使用內(nèi)置位移傳感器的反饋控制還可以保持位置重復(fù)性。

日本THKprecision高速響應(yīng)X軸耐用電源器件 PSM1H系列 規(guī)格參數(shù)

半導(dǎo)體、FPD檢查設(shè)備

硬盤測(cè)試儀

激光光學(xué)系統(tǒng)對(duì)準(zhǔn)

干擾設(shè)備

分析設(shè)備

納米定位

通過了解驅(qū)動(dòng)源執(zhí)行器和測(cè)量位移的傳感器的特性，并通過匹配將它們集成為單個(gè)系統(tǒng)的機(jī)構(gòu)和控制電路，可以實(shí)現(xiàn)納米級(jí)的超精密定位。我們根據(jù)用途選擇并組合這些基本元件，并擁有多樣化的產(chǎn)品陣容來滿足您的定位和力感測(cè)需求。

應(yīng)用納米技術(shù)的領(lǐng)域，如半導(dǎo)體、電子、生物技術(shù)、MEMS、微加工、材料和能源等，都在不斷發(fā)展，以滿足工業(yè)發(fā)展的需求。我公司支持納米技術(shù)相關(guān)科學(xué)技術(shù)和以超精密定位為核心的基礎(chǔ)技術(shù)的先進(jìn)制造業(yè)的發(fā)展。

這是壓電元件直接使移動(dòng)工作臺(tái)移動(dòng)的機(jī)構(gòu)。

通過抑制行程，分辨率和響應(yīng)能力都非常出色。

高剛性即使在重負(fù)載下也能穩(wěn)定定位。

配備機(jī)械放大壓電元件膨脹的機(jī)構(gòu)。

根據(jù)放大倍數(shù)的不同，可以獲得直接驅(qū)動(dòng)數(shù)倍至10倍以上的行程。

使用內(nèi)置位移傳感器的反饋控制還可以保持位置重復(fù)性。