美國(guó)Entegris流通式壓力傳感器耐化學(xué)腐蝕 Entegris 4210/4250型 特點(diǎn)介紹

4210型

壓力 無(wú)論您的目的是自動(dòng)化、過(guò)程控制還是安全，您的測(cè)量都必須干凈、準(zhǔn)確且可靠。為了滿足半導(dǎo)體行業(yè)的需求，

Entegris 將最新的電子傳感器技術(shù)與高度清潔的材料相結(jié)合，生產(chǎn)出能夠?qū)に囎兓M(jìn)行高度控制的先進(jìn)產(chǎn)品。

在高純度應(yīng)用中可靠測(cè)量腐蝕性化學(xué)品和 CMP 漿料中的壓力

所有裝置在發(fā)貨前均經(jīng)過(guò)功能測(cè)試，精度為滿量程的 1%

沒(méi)有活動(dòng)部件，也沒(méi)有填充液，因此不會(huì)受到污染

4210 型采用流通式設(shè)計(jì)，可減少死體積并降低污染風(fēng)險(xiǎn)

接液部件采用 PTFE、PFA、CTFE 和 Kalrez®，適用于高純度應(yīng)用

行業(yè)標(biāo)準(zhǔn) Flaretek® 連接減少了池化和占地面積。它還允許靈活的系統(tǒng)設(shè)計(jì)并且易于安裝。

4250型

NT™ 壓力傳感器配有耐化學(xué)腐蝕的藍(lán)寶石傳感器，可測(cè)量負(fù)壓和正壓。

該傳感器沒(méi)有填充液或隔膜，在其他非金屬傳感器無(wú)法處理的情況下具有高度可靠性，精度為滿量程的 1%。 

氫氟酸和負(fù)壓應(yīng)用

使用耐化學(xué)腐蝕的藍(lán)寶石壓力傳感器高精度、可靠地測(cè)量壓力

監(jiān)控過(guò)程條件可提高安全性和系統(tǒng)性能

發(fā)貨前經(jīng)過(guò) 100% 性能測(cè)試，精度為滿量程的 1%

易于連接到電子顯示/監(jiān)控系統(tǒng)

無(wú)活動(dòng)部件，無(wú)填充液，因此無(wú)污染

流通式設(shè)計(jì)最大限度地減少死體積并降低污染風(fēng)險(xiǎn)

美國(guó)Entegris流通式壓力傳感器耐化學(xué)腐蝕 Entegris 4210/4250型 規(guī)格參數(shù)