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產(chǎn)品分類TECHNICAL ARTICLES
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日本Hisol等離子清洗機(jī)去除有機(jī)污染物等 G1000G1000是一種利用 氣體等離子體的蝕刻作用，在低壓環(huán)境下對(duì)被清洗物體表面進(jìn)行清洗的系統(tǒng)。通過(guò)根據(jù)用途選擇所使用的氣體，不僅可以可靠地去除有機(jī)污染物，還可以可靠地去除無(wú)機(jī)污染物。
產(chǎn)品型號(hào)：G1000廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商更新時(shí)間：2024-10-12訪 問(wèn) 量：239
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日本Hisol等離子清洗機(jī)去除有機(jī)污染物等 G1000 特點(diǎn)介紹
G1000是一種利用 氣體等離子體的蝕刻作用，
在低壓環(huán)境下對(duì)被清洗物體表面進(jìn)行清洗的系統(tǒng)。通過(guò)根據(jù)用途選擇所使用的氣體，
不僅可以可靠地去除有機(jī)污染物，還可以可靠地去除無(wú)機(jī)污染物。
該系統(tǒng)非常適合通過(guò)清潔 HIC 基板和引線框架的接合表面來(lái)提高接合強(qiáng)度，并通過(guò)表面改性（親水化）提高潤(rùn)濕性。
有機(jī)材料（抗蝕劑等）的蝕刻
去除污染物和焊劑
清潔引線鍵合表面——提高鍵合強(qiáng)度
提高表面親水性 - 芯片附著/模具預(yù)處理
表面張力控制等
日本Hisol等離子清洗機(jī)去除有機(jī)污染物等 G1000 規(guī)格參數(shù)
平行板式腔室將等離子體均勻照射到待清潔表面
根據(jù)清潔目標(biāo)，
從 5 種不同強(qiáng)度的等離子體模式中進(jìn)行選擇，包括無(wú)電子等離子體和活性等離子體。
內(nèi)存中可存儲(chǔ) 12 種清潔條件，并且
可使用設(shè)備正面的觸摸面板輕松執(zhí)行配方設(shè)置和操作。
與高頻 (13.56MHz) 相比， 40kHz LF 等離子電源可實(shí)現(xiàn)高效等離子照射
（工件上的熱應(yīng)力更小）
可以選擇任意 3 種氣體，氣體混合和流量可由 CPU 控制，并可選配質(zhì)量流量控制器。
有 14 個(gè)狹縫，用于放置托盤(pán)。
總共包括 12 個(gè)帶孔托盤(pán)，用作電極和工件支架。
托盤(pán)有三種類型：活性托盤(pán)（+）、接地托盤(pán)（-）和
與腔室絕緣的浮動(dòng)托盤(pán)，
等離子體在活性托盤(pán)和接地托盤(pán)之間產(chǎn)生
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